平台配置了商用级 8/12 英寸硅光晶圆测试系统,该解决计划基于成 熟可靠的 12 寸探针台和纳米级精密定位组件,搭建起高效且兼容性高的 光电混淆测试系统
。平台还配置了一套纳米级光电芯片耦合测试系统,针 对差别的耦合方法为客户提供差别的测试解决计划
。同时建立了全程可追 溯的测试数据库,连续向客户推出种种灵活、可靠、可升级的产品和效劳
。

▲IMECAS 硅光平台全自动耦合晶圆级测试平台+芯片级测试平台